※產(chǎn)品用途:
CNT高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長,其它快速熱處理工藝。
※產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
1、采用進(jìn)口碘鎢燈管為發(fā)熱元件,升溫速度高達(dá)200℃/s;
2、爐膛材料采用進(jìn)口陶瓷纖維,內(nèi)有進(jìn)口氧化鋁涂層,抗熱沖擊;
3、保護(hù)管采用高純石英管 ,可沖入多種氣體;
4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭,耐高溫、耐腐蝕;
5、滑軌采用鋁合金超靜音滑道;
6、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù),配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇,降低爐體外殼溫度;
7、控制系統(tǒng)采用進(jìn)口40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發(fā)、可控硅控制;
8、選配無紙記錄儀,記錄、存儲(chǔ)、顯示當(dāng)前或歷史溫度曲線,也可通過U盤轉(zhuǎn)存入電腦。
9、選配西尼特智能溫控軟件,通過電腦進(jìn)行全程監(jiān)控和操作;
10、使用溫度超過900℃請(qǐng)接冷卻水,以免密封圈受損;
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