Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營:管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
項(xiàng)目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
規(guī)格型號 | BTF-1200C-RTP-180 | |
溫度控制 | 溫度點(diǎn) | 1200℃ |
額定溫度 | 1100℃ | |
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 100~1050℃ | |
溫度測量 | ?0.2℃ | |
溫度控制重復(fù)性 | ?1℃ | |
溫度控制 | ?1℃ | |
溫場均勻性 | ?2℃ | |
溫度狀態(tài)工藝時間 | 2~100(100~1050℃) | |
升溫速率 | 30℃/S(可根據(jù)客戶需求定制) | |
降溫速率 | 1~300,可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計(jì)閥控控制氣體冷卻 | |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)控制 | |
觸摸屏尺寸 | 7"LCD 工控電腦 | |
物理指標(biāo) | 功率(KW) | 24 |
額定電壓 | 220V/AC380~400V 50-60HZ 自動匹配 | |
傳感器類型 | K型 | |
反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ180?580 | |
式樣有效空間 | 6 | |
抽氣端口尺寸 | KF25 | |
供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | |
冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2) | |
外形凈尺寸 | 長920?深500?高560mm | |
重量 | 約80Kg | |
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