光纖激光晶圓劃片機(jī)劃片速度快
價(jià)格
50000 元/臺(tái)
- 單價(jià):電議
- 最小起訂量: 1臺(tái)
- 所在地:湖北 武漢
- 供貨總量: 1000臺(tái)
- 發(fā)布時(shí)間:2015-12-26
價(jià)格
50000 元/臺(tái)
型號(hào):OOI-FJ20
規(guī)格:光纖激光晶圓劃片機(jī)
光纖晶圓激光劃片機(jī)產(chǎn)品介紹:
自主研發(fā)的紅外激光晶圓劃片機(jī)OOI-FJ20具有全部先進(jìn)水平,采用1064nm紅外激光作為切割工具,切割線條質(zhì)量?jī)?yōu)越,無(wú)接觸式加工避免加工產(chǎn)生應(yīng)力,可以提高晶粒的切割質(zhì)量和效率,切割后的芯片具有優(yōu)良的電學(xué)特性。該機(jī)具有劃片速度快、操作便捷、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn),適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)單臺(tái)面玻璃鈍化二較管晶圓的切割劃片。
光纖晶圓激光劃片機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1.切割速度快,對(duì)于單臺(tái)面玻璃鈍化二較管晶圓的切割速度達(dá)到了150mm/s,是傳統(tǒng)刀片劃片機(jī)正切速度的15-20倍、背切速度的3-5倍;
2.加工品質(zhì)高,光束質(zhì)量好,適用于準(zhǔn)確、精細(xì)劃片,切割過(guò)程無(wú)機(jī)械應(yīng)力產(chǎn)生,有效減少芯片背崩及微裂紋;
3.運(yùn)行成本低,平均無(wú)故障使用時(shí)間可達(dá)10萬(wàn)小時(shí),電光轉(zhuǎn)換效率高,設(shè)備功率低于2KW,長(zhǎng)期使用可為用戶(hù)節(jié)省大量的能耗支出;
4.操作簡(jiǎn)便,自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的操作軟件,功能強(qiáng)大,能對(duì)40mm以下的正方形芯片圖像識(shí)別自動(dòng)對(duì)位切割。
5.歐屹光電OOI-FJ20紅外激光晶圓劃片機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)單臺(tái)面玻璃鈍化二較管晶圓的切割劃片。
光纖晶圓激光劃片機(jī)技術(shù)參數(shù):
名稱(chēng) |
光纖晶圓激光劃片機(jī)? |
波長(zhǎng) |
1064nm |
激光功率 |
20W |
定位精度 |
±3μm |
XY光柵尺分辨率 |
0.1μm |
Z軸精度 |
±1μm |
旋轉(zhuǎn)軸精度 |
±20″ |
CCD定位精度 |
1-2μm |
重復(fù)定位精度 |
±1μm |
工作臺(tái)有效行程 |
300mm×300mm |
非常大切割尺寸 |
6英寸 |
切割線寬 |
30-50μm |
切割高層度 |
80-120μm |
切割速度 |
1-150mm/s |
湖北省武漢市江夏區(qū)藏龍島科技園楊橋湖大道13號(hào)
武漢歐屹光電科技有限公司背景:
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