半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵

東莞市普諾克真空科技公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍，優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù)，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù)，需要了解更多羅茨真空泵信息的朋友請(qǐng)登錄。

羅茨真空泵產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.馬達(dá)多樣性

每一臺(tái)普諾克羅茨真空泵的馬達(dá)都可采用風(fēng)冷或水冷，以保證客戶的正常使用

泵整體采用鋁合金或鑄鐵材料，實(shí)現(xiàn)泵散熱快、耐腐蝕性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)

2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 維護(hù)方便

轉(zhuǎn)子型線通過精心設(shè)計(jì)產(chǎn)用圓弧轉(zhuǎn)子方式使泵的設(shè)計(jì)更加緊湊

抽氣效果更加突出，相比同級(jí)別其它廠家抽速有很大提高

維護(hù)起來也很方便，維護(hù)費(fèi)用非常低

3.高清潔真空

羅茨泵泵腔內(nèi)沒有任何能與空氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的介質(zhì)

確保被抽氣體不受二次污染,實(shí)現(xiàn)高清潔真空

4. 助力泵

羅茨泵也稱助力泵，可以與螺桿泵、放片泵、水環(huán)泵、滑閥泵

分子泵等泵組成泵組，大大提高抽氣速率和真空度

正常情況下可以高10倍以上的真空度！

安裝尺寸圖

半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：PNK MR 0600T

額定流量（50Hz）：600 m³/h

抽氣速率：166.7 l/s

較限壓力：≤0.05 Pa

大允許壓差：≥1.2x10⁴ mbar（≥1200000 Pa）

馬達(dá)頻率：50 Hz

馬達(dá)額定功率：3 Kw

連接口進(jìn)氣口：ISO100

連接口排氣口：ISO80

轉(zhuǎn)數(shù)（50HZ）：2900 PRM

重量：198 Kg

推薦前級(jí)泵：PNK SP 0100

產(chǎn)品曲線圖

羅茨真空泵前級(jí)泵選擇：

羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配上前級(jí)泵組成機(jī)組，使用前級(jí)真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級(jí)真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，大壓縮比多大3：1，而高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間（1 mbar=0.75Torr）可達(dá)50:1，甚至更高些。

因此，選擇前級(jí)泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的長(zhǎng)期工作壓力范圍考慮。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長(zhǎng)期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。

先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600： 30=20得出K=20時(shí)大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求問題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)，可選較小的前級(jí)泵;假如真空室非常大，而且要求很快預(yù)抽，就要用非常大的前級(jí)泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有非常大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級(jí)泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。

對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的較限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)較限真空度要求較高（達(dá)1X10^-3Pa～1X10^-2 Pa壓力）一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。較限真空度要求在（1X10^-2 Pa～1X10^-1Pa）之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，較限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品圖片