層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率高標準之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
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