鋁在金屬蝕刻加工中造成點(diǎn)蝕產(chǎn)生的原因有哪些?
鋁是活潑金屬,與氧的親和力較強(qiáng),鋁表面總是陰較性的,其表面形成氧化膜的能力非常強(qiáng),以至剛剛清洗好的樣品放人水中也將生成氧化膜。由于氧化膜的存在,使鋁合金具有較強(qiáng)的抗腐蝕能力,要想促成點(diǎn)蝕的發(fā)生,則必先使氧化膜層局部溶解。而在熱力學(xué)相對不穩(wěn)定處,氧化膜層將優(yōu)先被破壞,從而在被破壞處發(fā)生局部點(diǎn)蝕。在特定條件下這種局部點(diǎn)蝕可迅速擴(kuò)散到整個表面。
在腐蝕介質(zhì)中有一些能促使膜層被擊穿的離子。如在進(jìn)行金屬光柵片、蝕刻高準(zhǔn)確光柵片、不銹鋼蝕刻金屬碼盤的加工過程中,在有Cl一存在的條件下,起始過程以點(diǎn)蝕成核為主,其成核處往往是在位錯的缺陷處和不同相間構(gòu)成的腐蝕電池處。隨著腐蝕初始過程的發(fā)展,點(diǎn)蝕擴(kuò)大,同時點(diǎn)蝕密度增加,被腐蝕表面的真實表面積迅速擴(kuò)大。在酸性電解質(zhì)溶液中,由于H十的強(qiáng)去較化作用使均勻腐蝕趨勢增強(qiáng)。在堿性電解質(zhì)溶液中,由于OH一的絡(luò)合催化作用,均勻腐蝕趨勢較酸性為大。
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