鋁層分析FT110A日本日立X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
日立(EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT-110系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)定。FT-110較微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對(duì)較微小部分的測(cè)定。對(duì)有段差的樣品也適用。
1.FT-110搭載了50W高性能X射線管。
2.FT-110搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管(小Φ15μm)。
3.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。FT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4.依據(jù)照明能很容易對(duì)以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。
5.FT-110搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6.搭載了焦點(diǎn)切換功能,F(xiàn)T-110能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測(cè)定。
7.FT-110利用伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
7.FT-110運(yùn)用激光聚焦功能簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。
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