供應(yīng)氣相沉積管式爐，真空爐管式爐

創(chuàng)新科技發(fā)展，專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，十多年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，各大高等院校教授的指導(dǎo)，得到廣大用戶高等院校，***廠，科研單位，大型企業(yè)的一直認(rèn)可。十多年來，不為公司利潤，只為科學(xué)發(fā)展的理念，現(xiàn)研發(fā)出多種功能多種型號(hào)供您挑選�；虬凑漳惝a(chǎn)品燒結(jié)工藝幫您挑選設(shè)計(jì)出您想要，適合您的各種高溫爐，為您產(chǎn)品升級(jí)，為您產(chǎn)品保駕護(hù)航。讓您產(chǎn)品永遠(yuǎn)處于全部優(yōu)異地位。 產(chǎn)品簡介：此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置，可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡單實(shí)用，工藝重復(fù)性好，對(duì)于石墨烯生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。 主要功能和特點(diǎn)：   1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相； 2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量； 3、可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率； 4、能廣泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長。     滑軌管式爐技術(shù)參數(shù)         石英管尺寸 L1400mm  Φ（60、80、100） 加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 測溫元件 K型熱電偶 加熱區(qū)長度 400mm   恒溫區(qū)長度 200mm 工作溫度 ≤1100℃ 控溫模式 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶啟動(dòng)緊急信號(hào)功能 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 ≤20℃/min 電功率 AC220V/50HZ/3KW 質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)           外形尺寸 600x600x600mm 標(biāo)準(zhǔn)量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； 壓力表測量范圍 -0.1Mpa～0.15Mpa 較限壓力 3MPa 針閥 316不銹鋼 截止閥 Φ6mm 316不銹鋼針閥 電功率 AC220V/50HZ/20W 響應(yīng)時(shí)間 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 準(zhǔn)確度 ±1.5% 線性 ±0.5～1.5% 重復(fù)精度 ±0.2% 接口 Φ6,1/4 真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)           外型尺寸 600×600×600mm 工作電電壓 220V±10%  50~60HZ 功率 400W 抽氣速率 4L\s 較限真空 4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度 1.0X10-1Pa 容油量 1.1L 進(jìn)氣口口徑 KF25 排氣口口徑 KF25 轉(zhuǎn)速 1450rpm 射頻電源   信號(hào)頻率 13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍 3W-300W   5W-500W可選 非常大反射功率 200W 射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定度 ±0.1% 諧波分量 ≤-50dbc 供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ 整機(jī)效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷