Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營:管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
一、設(shè)備特點:
真空中頻感應(yīng)熔煉爐為立式爐殼型的真空感應(yīng)電爐。供用特殊鋼、高溫合金、準確合金等在真空或保護氣氛下進行熔煉和鑄錠之用,亦可供小型零件的真空準確鑄造使用。
結(jié)構(gòu)簡介:此設(shè)備主要由真空腔室、供氣系統(tǒng)、低真空系統(tǒng)、和中頻感應(yīng)器、中頻電氣控制系統(tǒng)、靜電甩絲裝置、收集器、觀察窗和鎢錸熱電偶測溫裝置等部分組成。
感應(yīng)器內(nèi)置有保溫裝置和石墨坩堝,且石墨坩堝底部有1-2mm的孔徑,坩堝上方有配合石墨板,可向石墨坩堝內(nèi)通氣惰性氣體,使坩堝內(nèi)達到微正壓,待達到一定溫度后材料熔化,通過坩堝內(nèi)的氣體壓力使熔化后的材料從下方孔徑中流出。流出后的材料通過下方的鎢絲噴絲頭,噴絲頭下方有收集器。且噴絲頭和收集器之間的距離均可手動調(diào)節(jié)。觀察窗和鎢錸熱電偶測溫裝置。此設(shè)備感應(yīng)器由異形銅管盤成螺旋線圈。
供氣系統(tǒng):是一種可控制3種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計集成安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與準確雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。
真空系統(tǒng):采用機械泵、過濾網(wǎng)和各種控制閥等組成。
電氣控制:采用可控硅中頻變頻裝置供電。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、感應(yīng)熔煉爐:
產(chǎn)品型號 | BMF-1800C-D |
工作電源 | 三相四線制AC380V |
額定功率 | 30KW |
爐體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
石墨坩堝內(nèi)徑 | Φ50mm |
感應(yīng)器內(nèi)徑 | Φ100mm |
控溫方式 | PLC 觸摸屏的控制方式,自動化程度高 |
真空腔室較限真空度 | 1Pa |
zui高溫度 | 1800℃,使用溫度和使用的材料有關(guān) |
加熱方式 | 采用可控硅中頻變頻感應(yīng)加熱 |
中頻電源 | 25KW |
熱電偶類型 | 鎢錸熱電偶 |
收集器 | 圓柱收集器(直徑100mm,長度250mm)、平板收集器(長度400mm,寬度200mm)噴絲頭材質(zhì):鉭,噴頭孔徑1mm 且噴絲頭與圓柱收集器之間的距離可調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍為50-300mm |
設(shè)備外型尺寸 | 1000*700*1400mm |
2、 氣體控制系統(tǒng):
該控氣系統(tǒng)是可以控制三種氣體按照不同流量進行混合配比的,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與準確雙卡套接頭連接組成。
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程(N2) | 三路供氣系統(tǒng)量程客戶自選 |
準確度 | ?1.5%F.S |
線性 | ?1%F.S |
重復(fù)精度 | ?0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5 MPa |
zui大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
3、低真空系統(tǒng):
該系統(tǒng)配備真空機械泵、進口真空計,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空或者惰性氣體保護的環(huán)境下進行反應(yīng)。
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃~40℃ |
工作電電壓 | 380V |
抽氣速率 | 30m?/h |
較限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連 |
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