SS-60系列臺式掃描電鏡
一、概述:
SS-60系列臺式掃描電鏡具有體型小巧,占用空間;較大放大倍率是6萬倍,放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;采用二次電子和背散電子雙重探測器;寬泛的加速電壓范圍1~30KV,多檔可調(diào);通過選配EDS可進行元素成份分析;可選配CCD樣品導(dǎo)航、Tilt(0~90)載物臺。
SS-60系列臺式掃描電鏡具有強大軟件功能,操作簡單,易于維護,有良好售后服務(wù)系統(tǒng)
一、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) |
|
分辨率 |
15nm (30kV,SE) |
放大倍率 |
20x~60,000x |
加速電壓 |
1~30kV |
探測器 |
SE 探測器,可選配BSE探測器,EDS等 |
電子槍 |
預(yù)對中鎢燈絲 |
透鏡系統(tǒng) |
聚光鏡:2段式磁線圈透鏡 |
載物臺 |
3軸(X,Y,R,)X,Y軸 40mm / R軸 : 360° 可選5軸樣品臺:X:40mm, Y:40mm, Z:40mm, R:360°,T:0~90° |
圖像偏移 |
X,Y軸圖像偏移(±150μm) |
樣品較大尺寸 |
高度35mm時較大直徑80mm |
圖像掃描 |
快速掃描:320*240 低速掃描:640*480 |
自動功能 |
自動啟動、自動亮度對比度調(diào)節(jié)、自動初始化 |
圖像存儲格式 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
圖片顯示數(shù)據(jù) |
放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、日期和時間 |
真空方式 |
高真空模式,機械泵,分子泵,抽真空時間:3分鐘以內(nèi) |
設(shè)備尺寸 |
460(W)*600(L)*600(H)mm |
運行環(huán)境 |
溫度:15~30℃,濕度:≤70% 電源:單相220AC 1KW 50/60Hz |
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