多弧離子鍍膜設(shè)備

此設(shè)備是一種高效、無(wú)害、無(wú)污染的離子鍍膜設(shè)備，具有沉積速度快、離化率高、離子能量大、設(shè)備操作簡(jiǎn)單、成本低、生產(chǎn)量大的優(yōu)點(diǎn)。
真空電弧離子的原理是基冷陰極自持弧光放電結(jié)合脈沖技術(shù)及磁控濺射技術(shù)，使沉積粒子細(xì)化，膜層的各項(xiàng)性能得以提高。它不僅能在金屬制品表面進(jìn)行鍍膜而且能在非金屬制品表面制品上進(jìn)行鍍膜，可以鍍金屬膜、氮化鈦、碳化鈦、氮化鋯、氮化鉻、及鈦、鎳、鉻、銅、等化合物膜、多層超硬膜、氮化鈦摻金膜和合金膜，并能在極短的時(shí)間內(nèi)完成全部加工工藝過(guò)程，是一種多功能高效鍍膜設(shè)備。廣泛應(yīng)用于工具、模具的超硬涂層，汽車輪轂、陶瓷、高爾夫、制表、酒店用品、衛(wèi)生潔具、燈具、眼鏡鏡架、五金制品的裝飾涂層等領(lǐng)域。

型號(hào)
lh-800
lh-1000
lh-1250

真空室尺寸
￠800×1000mm
￠1000×1000mm
￠1250×1100mm

鍍膜方式及主要配置
八個(gè)多弧靶
十個(gè)多弧靶
十二個(gè)多弧源

鍍膜方式及主要配置
電弧電源、燈絲電源、脈沖偏壓電源

工藝氣體控制
質(zhì)量流量計(jì)+電磁陶瓷閥

真空室結(jié)構(gòu)
立式側(cè)（單）開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷

真空系統(tǒng)組成
分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵（5.0×10-4pa），擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵（5.0×10-4pa）

工件烘烤溫度
常溫到350度可調(diào)可控(pid控溫),輻射加熱

工件運(yùn)動(dòng)方式
公自轉(zhuǎn)變頻調(diào)速,0~20轉(zhuǎn)/分

測(cè)量方式
數(shù)顯復(fù)合真空計(jì):測(cè)量范圍從大氣至1.0×10-5pa

控制方式
手動(dòng)/自動(dòng)/pc/plc+hmi/pc四種方式可選

備注
以上設(shè)備可按客戶實(shí)際及特殊工藝要求設(shè)計(jì)訂做