產(chǎn)品描述
| SK-G04143 | SK-G05143 | SK-G06143 | SK-G08143 | ||
| 進(jìn)口程序 | SK-G04145 | SK-G05145 | SK-G06145 | SK-G08145 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 溫度 | 1400℃ | ||||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | 400mm | |||
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 70mm | 140mm | |||
| 加熱元件 | 硅碳棒 | ||||
| 空爐升溫時(shí)間 | <30min | ||||
| 額定功率 | 2.5Kw | 5Kw | |||
| 額定電壓 | 220V | ||||
| 溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制；進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控制； | ||||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||||
|
石英管尺寸(mm) |
Φ40/32x800 | Φ50/42x800 | Φ60/50x1000 | Φ80/70x1000 | |
| 爐管材料 | 剛玉管 | ||||
|
爐管工作溫度 |
＜1300℃ | ||||
| 配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | ||||
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)； | ||||
| 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)； | |||||
| 計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)； | |||||
| 外形尺寸(深x寬x高) | 315x440x539mm | 400x614x653mm | |||
| 重量 | 60Kg | 85Kg | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表)，剛玉管一支，剛玉堵塞兩個(gè)，鉤子一把 | ||||
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