SJ6000激光干涉儀

一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢驗(yàn)手段，在高等制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。

               

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、較高檢測(cè)時(shí)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢驗(yàn)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有較高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.SJ6000激光干涉儀功能特點(diǎn)

      測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢驗(yàn)功能�？梢詸z驗(yàn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢驗(yàn)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

      可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

      具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

      內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，如國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（全部）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等�？梢罁�(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

      可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

      測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

 

三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

      系統(tǒng)性能

?    測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

?    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

?    動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

?    預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

?    工作溫度范圍：0~38℃

?    環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

?    存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

?    空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

?    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測(cè)量

?    測(cè)量距離：0-40m

?    測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    測(cè)量分辨率：1nm

?    測(cè)量非常大速度：3m/sec

 

三.SJ6000激光干涉儀配置清單

1)   SJ6000主機(jī)：1臺(tái)

2)   環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)

3)   光學(xué)鏡組：

線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）

小型線性光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）

      小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量準(zhǔn)確轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）

4)   測(cè)量軟件：1套

5)  便攜式筆記本電腦：1臺(tái)

6)  便攜式儀器配件箱：1個(gè)

7)  通用三腳架：1個(gè)

8)  云臺(tái)附件：1套

9)  磁性表座：2套

10)          產(chǎn)品使用說(shuō)明書：1套

11)          產(chǎn)品合格證、保修卡：1套

12)          免費(fèi)保修：1年

13)         夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件（選配）