SJ6000激光干涉儀原理

一.SJ6000激光干涉儀功能特點

      測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢驗功能�？梢詸z驗數(shù)控機床、三坐標測量機等準確運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢驗運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉(zhuǎn)軸。

      可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

      具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。

      內(nèi)置國內(nèi)外通用的標準，如國標（GB）、ISO（全部）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等�？梢罁�(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

      可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。

      測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

 

二.SJ6000激光干涉儀原理

一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

 

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為0.633µm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。

 

如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。

 

應當注意到，激光波長將取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于空氣折射率會隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用于計算測量值的波長值可能需要對這些環(huán)境參數(shù)的變化進行補償。在實踐中，對于技術指標中的測量精度，只有線性位移（定位精度）測量需要進行此類補償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

三.SJ6000激光干涉儀內(nèi)置標準

數(shù)據(jù)庫內(nèi)置的常用標準
標準號	標準名稱
ISO230-2	老版全部標準
ISO230-1997	新版全部標準
ANSI B5.54	美國國家標準
ASME B89.1.12M	美國機械工程師協(xié)會標準
NMTBA	美國機床協(xié)會標準
BS 3800	英國機床標準
BS 4656	英國三測機標準
JIS B6330	日本國家標準
GB 17421-2000	中國國家標準
VDI 3441	德國機床標準