LED外延片退火爐

 

◆ 全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便                  ◆ 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步  ◆ 工藝曲線的自動運行控制功能                            ◆ 自動運行中可暫停繼續(xù)運行功能              ◆ 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能              ◆ 智能升降溫斜率控制功能 ◆ PID參數(shù)自整定功能                  ◆ 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能 ◆ 系統(tǒng)故障的檢測與報警功能                              ◆ 系統(tǒng)誤差修正（單點或多點動態(tài)修正功能） ◆ 智能懸臂推拉舟控制功能                                 ◆ 工藝氣體的程序控制功能（電磁閥質量流量控制器） ◆ 停電后斷點繼續(xù)運行功能等等                                 該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。 
◆ 工作溫度：2001000℃（溫度小于800℃）
◆控制精度：&le±1.0℃
◆恒溫區(qū)長度：定制
◆開機重復性：&le±1.0℃
◆冷態(tài)真空度：101Pa
◆石英真空室內(nèi)徑：定制
◆控制儀表：日本島電公司原裝進口控溫儀
◆環(huán)境溫度：10~45℃
◆相對濕度：&le85
◆供電電源：三相五線380V±10 50Hz
◆可用氣氛：H2，N2  ★可配工藝管數(shù)量：1~4管臺；        ★工作溫度范圍：200～1000℃； ★恒溫區(qū)長度及精度：300～900mm     600~1000℃±0.5℃； ★單點溫度穩(wěn)定性：600～1000℃±0.5℃24h；     ★可控升溫速度：15℃min ★降溫速度：15℃min