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電子級(jí)反式-1,2-二氯乙烯DCE

價(jià)格

7500 元/件

  • 單價(jià):電議
  • 最小起訂量: 1
  • 所在地:廣東 深圳
  • 供貨總量: 1000
  • 發(fā)布時(shí)間:2021-11-30

聯(lián)系方式

產(chǎn)品描述

電子級(jí)反式-1,2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC(DCE)

名稱

反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC

化學(xué)式

 C2H2Cl2

相對(duì)分子量

96.94

CAS號(hào)

156-60-5

理化性質(zhì)

無色略帶氣味液體,熔點(diǎn)-57℃,沸點(diǎn)48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸氣與空氣可形成性混合物。與能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)。與酸堿需隔離存放。

主要用途:

高純度氯源,主要用于晶圓制造過程中加快硅片氧化和清洗爐管。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、光伏制造業(yè)所需的電子化學(xué)品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料

Dielectrics PMD/IMD

TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB

Low K Dielectrics

4MS ,OMCATS

High K Dielectrics

TAETO (Ta2O5 Precursor )

TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)

TMA (Al2O3 Precursor)

Metal Gate and Interconnect Metal

TDMAT (TiN Precursor )

TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )

Low-Temp Nitride/Oxide

HCDS

Diffusion

POCl3

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