產品描述
電子級正硅酸四乙酯TEOS
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名稱 |
正硅酸四乙酯(TEOS) |
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化學式 |
C8H20O4Si |
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相對分子量 |
208.33 |
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CAS號 |
78-10-4 |
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理化性質 |
無色透明液體，熔點－77℃，沸點168.5℃，密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。 |
主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學品。
供應半導體化學氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
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- 深圳市旺達康科技有限公司
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