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電子級(jí)六甲基二硅氮烷HMDS
別名:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺六甲基二硅氮烷
無(wú)色透明液體。易水解,放出NH3,生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下,與醇或酚反應(yīng),生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無(wú)水氯化氫反應(yīng),放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷?捎扇谆裙柰榕cNH3反應(yīng)來(lái)制取。
中文名:六甲基二硅氮烷
英文名:Hexamethyldisilazane
分子式:C6H19NSi2
分子量:161.39
CAS號(hào):999-97-3
EINECS號(hào):213-668-5
用途:
主要用于晶圓制造過(guò)程中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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地 址:鹽田區(qū)北山道倚山時(shí)代B-4D