leadmat Advanced Materials Co.,Ltd
主營:鋁濺射靶材,濺射靶材,磁控濺射靶材,鋁蒸鍍材料,蒸鍍材料,鋁高純材料,高純材料,稀土材料
電子級(jí)磷酸三甲酯TMPO
一、分子式:PO(OCH3)3
二、分子量:140.07
三、理化性質(zhì)
無色液體,有水果味,熔點(diǎn)-46℃,沸點(diǎn)197℃,密度1.215g/ml。易燃,易溶于水,難溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的重要電子化學(xué)品。
供應(yīng)半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積材料,專業(yè)研發(fā)及制造各種先進(jìn)CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
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