深圳市旺達(dá)康科技有限公司
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leadmat Advanced Materials Co.,Ltd
主營：鋁濺射靶材,濺射靶材,磁控濺射靶材,鋁蒸鍍材料,蒸鍍材料,鋁高純材料,高純材料,稀土材料
產(chǎn)品描述
電子級(jí)磷酸三甲酯TMPO
一、分子式：PO(OCH3)3
二、分子量：140.07
三、理化性質(zhì)
無色液體，有水果味，熔點(diǎn)-46℃，沸點(diǎn)197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水，難溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。
供應(yīng)半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進(jìn)CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
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